ENTRETIENS
Le bâtiment a commencé à sortir de terre pendant l’ année 2000 et la salle blanche a été construite en moins d’ un an.
QU’ EN ÉTAIT-IL DES ÉQUIPEMENTS SCIENTIFIQUES? Les équipements provenaient en grande partie du site de Bagneux, qui était technologiquement très en avance. J’ ai donc piloté le déménagement et la réinstallation de ces équipements, ce qui a représenté un travail considérable. Cette phase de « cheffe de chantier » a duré environ trois ans. À partir de fin 2001, une nouvelle étape a commencé. Une fois le site opérationnel, j’ ai pu me recentrer sur la science. J’ avais désormais à disposition une salle blanche parfaitement adaptée, dont je connaissais intimement les capacités.
QUEL ÉTAIT ALORS VOTRE PROJET DE RECHERCHE? Créer des sources de lumière de matériaux innovants, faire sortir des photons, concevoir des dispositifs optiques. Les matériaux III-V étaient pour moi un moyen, pas une fin. Avec le recul, je mesure à quel point mon parcours en microélectronique CMOS m’ a donné une base extrêmement solide. Passer ensuite aux photons, dont la complexité dépasse largement celle d’ un transistor, m’ a ouvert un champ d’ action beaucoup plus large. Avoir vécu dans ces deux mondes est une vraie richesse.
QUELLES INNOVATIONS AVEZ-VOUS PORTÉES? Je me suis concentrée à développer l’ épitaxie en phase vapeur, face à une communauté très attachée à l’ épitaxie par jets moléculaires. Avec le soutien de Jean-Yves Marzin, nous avons montré que la technique MOCVD avait toute sa place en physique fondamentale, notamment pour assurer le lien avec l’ industrie. Jean-Michel Gérard a également joué un rôle clé en m’ encourageant à développer les boîtes quantiques. Ensemble, nous avons démontré que la MOCVD donnait d’ excellents résultats selon les matériaux considérés, notamment sur InP, et que les performances dépendaient en réalité beaucoup de la chimie des précurseurs en amont. Notons que cela n’ a été possible qu’ avec Guillaume Saint-Girons, Adrien Michon, Alexios Beveratos, Isabelle
Robert-Philipp, Philippe Boucaud et Gilles Patriarche. Plus récemment, Fabrice Raineri, Rémy Braive, Grégoire Beaudoin et Konstantinos Pantzas ont rejoint l’ aventure scientifique quotidienne de la MOVPE.
QUELS MATÉRIAUX AVEZ-VOUS LE PLUS ÉTUDIÉS? J’ ai travaillé sur les deux grandes familles: les hétérostructures sur GaAs et sur InP. Sur GaAs, nous avons tenté de réaliser des boîtes quantiques classiques d’ InGaAs. Même lorsque les résultats n’ étaient pas directement exploitables, ces travaux ont été extrêmement formateurs et ont ouvert de nombreuses perspectives par la suite comme les boites quantiques sélectives d’ InAs sur substrat InP pour les longueurs d’ onde télécoms. Sur InP, j’ ai développé des hétérostructures originales, notamment des miroirs de Bragg alors considérés comme impossibles. En réalité, il suffisait de s’ y atteler sérieusement pour obtenir des contrastes d’ indice suffisants et des réflectivités élevées.
QUELLES SONT LES TECHNOLOGIES QUI ONT ATTIRÉ VOTRE INTÉRÊT? J’ ai établi une collaboration très efficace avec l’ équipe de Carlo Sirtori et Angela Vasanelli sur les lasers à cascade quantique. Il me paraissait impensable que la France ne maîtrise pas les sources moyen infrarouge. Nous avions la technologie pour le faire, et j’ ai contribué à maintenir ce savoir-faire sur le long terme. Un second axe majeur de mes recherches a porté sur le développement de micro-piliers pour les sources de photons uniques, en collaboration avec Pascale Senellart. J’ ai appliqué aux matériaux III-V des techniques de gravure que j’ avais apprises à Grenoble sur le silicium-germanium. Cela s’ est fait par essais successifs, une compréhension fine des mécanismes, et une adaptation progressive. Une thèse en particulier, autour de 2007, a marqué un tournant dans cette approche. Nous avons aussi développé des stratégies de passivation très spécifiques, en particulier pour éviter l’ oxydation de certains matériaux. Ces savoir-faire ont été transférés à Quandela dans le cadre d’ accords précis et sont quotidiennement utilisés par Jacqueline Bloch et Sylvain Ravets pour leurs études à l ' état de l ' art sur les polaritons en cavité dans les matériaux III-V.
COMMENT AVEZ-VOUS PRÉSERVÉ L’ ÉQUILIBRE DE VOS ACTIVITÉS ENTRE RECHERCHE ET IMPLICATION NATIONALE AU CNRS? Tout au long de ma carrière, j’ ai tenu à consacrer une part importante de mon temps à la recherche en salle blanche. Il existe une idée assez répandue selon laquelle“ la techno”, ce serait simplement appuyer sur un bouton mais en recherche, c’ est tout l’ inverse. Innover, c’ est développer des procédés, itérer, caractériser, comprendre pourquoi ça marche … et recommencer. Or, aujourd’ hui, il y a de moins en moins de personnes qui prennent le temps, et surtout le risque, de développer réellement les procédés. C’ est pourtant là que se joue une partie essentielle de l’ innovation: sélectionner la bonne machine, définir les paramètres, comprendre les mécanismes physiques et chimiques, choisir les méthodes de contrôle qualité, optimiser la passivation, les étapes de nettoyage, les recettes … Ce sont des développements longs, exigeants, et rarement visibles de l’ extérieur, mais ce sont eux qui rendent possible l’ innovation, et ensuite le transfert.
COMMENT AVEZ-VOUS ÉTABLI VOTRE PARTENARIAT ACADÉMIQUE-INDUSTRIEL? Lors de l’ aménagement du C2N, j’ ai dû déplacer une partie de mes moyens expérimentaux et plutôt que de subir une situation bloquante, j’ ai fait le choix, avec l’ aide de Daniel Dolfi de Thales RT de construire un cadre solide sur leur site, tout en gardant un ancrage CNRS fort. L’ idée était claire: préserver la capacité de recherche, sécuriser les conditions de travail, et surtout transmettre un savoir-faire. Nous avons ainsi mis en place une convention d’ hébergement avec Thales. J’ ai souhaité venir avec les personnes que j’ avais recrutées et formées, précisément parce que je voulais transférer des compétences et structurer une continuité. Cette collaboration existe toujours aujourd’ hui, et elle a été très productive. Cette collaboration a permis de structurer une filière technologique sur un matériau III-V particulièrement intéressant, le GaP. Je cherchais depuis longtemps l’ occasion de travailler sur ce sujet, et la situation a accéléré les choses.
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