ACTUALITÉS
L’ imagerie pompe-sonde révèle le processus de perçage de verres avec des impulsions en régime rafale GHz
Le traitement des matériaux par laser femtoseconde en mode rafale GHz suscite un vif intérêt ces dernières années. Le principe du mode rafale est de répartir l ' énergie d ' une impulsion laser femtoseconde sur une rafale constituée d’ un grand nombre de sous-impulsions femtosecondes espacées temporellement d’ un temps l ' ordre de la nanoseconde. Le dépôt d’ énergie dans le matériau se fait ainsi par un effet cumulatif parfaitement maîtrisé, ouvrant la voie à des régimes d’ interaction inédits et de nouveaux procédés laser. Des expériences récentes menées au CELIA à Bordeaux ont démontré la capacité de percer des verres avec des rapports de forme allant jusqu’ à 150:1 avec des impulsions laser femtosecondes en régime rafale GHz. La morphologie du trou est différente du perçage laser femtoseconde standard, avec une forme quasi-cylindrique et des parois internes lisses. L’ imagerie pompe-sonde a permis de mieux comprendre la dynamique du perçage. Dans le cas d’ un perçage débouchant en mode rafale GHz il a été démontré que le perçage s ' arrête dès que le panache atteint la
surface arrière et s ' échappe par le trou. Cela signifie que la formation du trou est entièrement régie par la présence du panache, c ' est-à-dire que l ' enlèvement de matière n ' a lieu que tant que le panache est présent. Ces résultats constituent une avancée majeure dans la compréhension des procédés en mode rafale GHz, notamment pour le perçage de trous traversant( Through Glass Via = TGV en anglais) pour la multiperforation des interposeurs en microélectronique.
RÉFÉRENCE P. Balage, T. Guilberteau, M. Lafargue, G. Bonamis, C. Hönninger, J. Lopez, I. Manek-Hönninger, Pump-Probe Imaging of Ultrafast Laser Percussion Drilling of Glass in Single Pulse, MHz- and GHz-Burst Regimes, Adv. Mater. Interfaces 12, 2400853( 2025). https:// doi. org / 10.1002 / admi. 202400853
Photoniques 132 I www. photoniques. com 19