Photoniques 136 | Page 57

table optique ACHETER
Cependant, pour la plupart des applications, l’ évaluation du rapport coût-bénéfice de la réalisation de telles études approfondies peut indiquer qu’ elles ne sont pas nécessaires. Les fournisseurs de haute qualité offrent souvent la possibilité de mettre à niveau les tables optiques ultérieurement, ce qui garantit une flexibilité pour des besoins expérimentaux évolutifs. Cette capacité permet aux laboratoires de commencer avec une solution économique et d’ améliorer les performances sans remplacer l’ ensemble de l’ installation. Les « courbes génériques de critères vibratoires » sont couramment utilisées comme guide pour les clients choisissant des solutions d’ isolation vibratoire. Ces courbes de critères génériques ont été développées à partir de données provenant de systèmes individuels et de mesures effectuées dans des installations avant et après la résolution des problèmes de vibrations. Elles ont été largement utilisées par les principaux consultants en vibrations, par exemple dans l’ industrie de la fabrication de semi-conducteurs, depuis près de 20 ans, et ont été étendues et affinées à mesure que l’ industrie est passée à des largeurs de ligne plus étroites. Ces courbes tiennent compte du fait que les équipements utilisés pour les tâches les plus exigeantes( comme la fabrication de semi-conducteurs avec des géométries de dispositifs plus petites) sont plus rigides et mieux isolés. Il est toutefois important de noter que ces critères ne sont fournis qu’ à titre indicatif. Une fois les sources potentielles de vibrations et de bruit identifiées, l’ étape suivante consiste à évaluer les exigences spécifiques du système afin de déterminer si une isolation vibratoire est nécessaire, et dans quelle mesure. Une conception bien pensée, qui minimise les sources de bruit et maintient un espace de travail propre et organisé, peut améliorer considérablement la fiabilité expérimentale et conduire à des
Figure 3. Exemple de courbe de compliance d’ une table optique MKS Newport © MKS, Inc.
résultats réussis, y compris de nouvelles découvertes.
PROPRIÉTÉS DES MATÉRIAUX La stabilité du trajet du faisceau est une exigence essentielle pour de nombreuses expériences et procédés optiques. En plus de l’ amortissement et du contrôle des vibrations, les tables optiques doivent également offrir une planéité de surface élevée et une stabilité thermique. Idéalement, le plateau doit être fabriqué en une seule pièce, conformément aux normes de production les plus strictes, afin de garantir une planéité optimale. Les tables optiques modernes utilisent généralement une peau supérieure en acier inoxydable,
Figure 4. Exemple de courbe de transmissibilité © MKS Inc.
Photoniques 136 I www. photoniques. com 55