DOSSIER
OPTRONIQUE & infrarouge
Le film métallique est constitué d’ aluminium et il est déposé sur une couche de silicium amorphe qui n’ a pas de fonction optique mais contribue à la rigidité mécanique. La structure est en appui sur les piliers des bolomètres, ce qui permet à la fois d’ avoir une grande densité de points d’ appuis et de ne pas imposer un encombrement supplémentaire sur la puce. Ce type d’ appui est un savoir-faire relativement unique dans le domaine et le fruit de plusieurs années de développement, les verrous en sont la tenue mécanique de la structure et l’ intégrité des bolomètres situés en-dessous.
Cette solution présente deux avantages importants: elle repose sur des matériaux et procédés standards dans le monde industriel et elle permet de réaliser les différents filtres de la matrice avec un seul niveau de lithographie. La figure 3 présente un exemple de matrice dans laquelle quatre filtres différents sont intégrés et distribués en macro-pixels( 24 × 24 µ m 2) de 4 pixels élémentaires( 12 × 12 µ m 2 chacun).
Cette solution a été conçue pour la bande LWIR( 8-16 µ m) et mise en œuvre sur des matrices VGA( 640 × 480 pixels) au pas de 12 µ m, une taille de
Figure 3. Vues simplifiées d’ un bolomètre avec filtre:( 1) filtre FSS,( 2) couche de support,( 3) piliers. Vue de dessus au microscope électronique à balayage( MEB) d’ une partie de matrice multispectrale;( 1) à( 4) désignent 4 pixels de bandes différentes constituant le motif périodique de la matrice.
pixel qui représente aujourd’ hui une part significative du marché de l’ imagerie IR. Nos premiers prototypes nous ont permis de démontrer des réponses spectrales et des performances électro-optiques en très bon accord avec nos modèles( Fig. 4) [ 3 ]. Une perspective possible est de la décliner sur une gamme spectrale
plus large, par exemple pour inclure la bande MWIR( 3-5 µ m).
APPLICATIONS ET PERSPECTIVES Le prototype présenté ci-dessus est une preuve de concept de la technologie, il va permettre de tester son fonctionnement sur différents cas
Figure 4. Réponses spectrales en absorption de bolomètres avec filtres FSS intégrés.
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