table optique ACHETER la possibilité de mettre à niveau les tables optiques ultérieurement, ce qui garantit une flexibilité pour des besoins expérimentaux évolutifs. Cette capacité permet aux laboratoires de commencer avec une solution économique et d’ améliorer les performances sans remplacer l’ ensemble de l’ installation.
Pour évaluer les caractéristiques de rigidité dynamique d’ une table optique, les fabricants fournissent généralement la courbe de compliance de la table. Elle montre la réponse dynamique du plateau en espace libre soumis à une force externe, c’ est-à-dire qu’ elle indique comment la surface se déforme en réponse à une vibration. Les courbes de compliance sont des courbes de fonction de transfert qui montrent la réponse en position d’ un point de la surface de la table à une force variable dans le temps appliquée au même point. Elles indiquent la plage de fréquences sur laquelle la table optique se comporte comme un corps essentiellement rigide. La courbe fournit également la fréquence des modes de résonance principaux et une indication de leurs amplitudes relatives, ce qui donne des informations sur l’ amortissement intégré à la structure.
CONTRÔLE ET ISOLATION DES VIBRATIONS En plus des méthodes d’ amortissement du plateau, les supports de table optique peuvent filtrer les vibrations avant que le bruit mécanique n’ atteigne la surface de travail. Bien que des pieds rigides sans contrôle supplémentaire des vibrations puissent suffire pour des applications non critiques, des pieds isolants autonomes, sont le meilleur choix pour les configurations sensibles aux vibrations. En général, l’ isolation vibratoire des supports de table peut être réalisée par isolation passive ou active. Les systèmes d’ isolation active utilisent des composants piézoélectriques ou électrodynamiques, tandis que les options passives incluent des ressorts, des patins en caoutchouc, des chambres à air gonflées ou des pieds pneumatiques remise à niveau automatique. Chaque méthode offre différents niveaux de performance, de capacité et, naturellement, de coût. L’ isolation active peut coûter jusqu’ à dix fois plus cher que l’ isolation pneumatique. Un tel investissement n’ est généralement justifié que pour des applications sensibles aux vibrations sub-Hz, comme la microscopie à force atomique. Le type d’ isolateur le plus courant en photonique est le système pneumatique, car il offre une remise à niveau automatique et minimise l’ effet des variations de masse sur l’ isolation. La performance de l’ isolateur est définie principalement par sa fréquence propre et ses caractéristiques d’ amortissement:
• Fréquence propre( mode naturel, résonance) – L’ isolateur pneumatique est essentiellement un oscillateur harmonique simple qui utilise la « chute rapide » à des fréquences élevées pour agir comme un filtre mécanique passebas. En dessous de la fréquence propre de l’ oscillateur harmonique, l’ isolateur est essentiellement rigide et la vibration est transmise directement à la plateforme. À la fréquence propre, la vibration est amplifiée. L’ objectif principal est donc d’ abaisser la fréquence propre, car cela améliore l’ isolation aux basses fréquences et la bande passante globale d’ isolation.
• Amortissement – Un autre objectif essentiel est d’ amortir l’ amplitude de l’ oscillateur harmonique à la résonance. Cela réduit l’ amplification des vibrations à basse fréquence et améliore la stabilité du système. Malheureusement, il existe un compromis entre la fréquence propre et l’ amortissement: lorsque l’ amortissement augmente, la fréquence propre de l’ isolateur se déplace légèrement vers le haut et l’ isolation à haute fréquence diminue.
Un autre facteur différenciateur important pour l’ isolation pneumatique est la manière de filtrer les « bruits » horizontaux. Chez certains fabricants, les isolateurs pneumatiques ne couvrent que l’ isolation dans la direction verticale, tandis que l’ isolation horizontale est obtenue par des systèmes de filtres mécaniques avec une surface de roulement ou de pivot pour filtrer les vibrations. Les isolateurs avancés proposés par MKS intègrent des
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