DOSSIER
Métrologie optique
en transmission par les deux surfaces de l’ échantillon( M2):
Les défauts de forme de surface peuvent alors se déduire des deux mesures réalisées( figure 1 droite):
α β α
La méthode présente plusieurs avantages: Il n’ est pas nécessaire de manipuler et retourner l’ échantillon pour accéder aux propriétés de chacune des surfaces, comme le nécessite une mesure optique en réflexion classique, ou une mesure par contact. Il n’ est pas non plus nécessaire de préparer l’ échantillon, ce qui minimise l’ impact de la métrologie dans
α β
Figure 2. Mesure de la forme des surfaces en réflexion, en s’ assurant de ne pas avoir de réflexion parasite provenant de la surface arrière de l’ échantillon grâce à la sélection appropriée de la longueur d’ onde de test: en haut, mesure à 405 nm, en bas, mesure à 520 nm.
le processus de fabrication ou de contrôle de qualité final, avec un cycle de test complet en moins de 1 minute.
La technique fonctionne à n’ importe quelle longueur d’ onde: elle s’ adapte ainsi parfaitement aux contraintes spectrales imposées par les designs et les pièces à contrôler, de par les propriétés des matériaux ou leur revêtement optique: les pièces peuvent alors être qualifiées aussi après traitement, répondant aux exigences croissantes des applications optiques.
Figure 3. Mesure de la forme des surfaces en réflexion par la méthode POP.
La technique est compatible avec des échantillons extrêmement fins – quelques dizaines de microns – grâce à l’ utilisation de sources à faible longueur de cohérence, de type SLED par exemple, très accessibles, économiques et durables. La maintenance périodique de la source utilisée pour la métrologie n’ est plus un poste récurrent et onéreux comme dans le cas des solutions basées sur l’ interférométrie et des lasers très stables.
La méthode hérite aussi des avantages de la technologie Shack
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