couches minces optiques
DOSSIER
Figure 6. Deux miroirs de Ø35 cm montés sur le porte-échantillon de la machine de dépôt( crédits LMA)
transmission du miroir, finesse, pertes aller-retour. Cela implique de traiter deux substrats de silice de 35 cm( Figure 6) en même temps( miroirs jumeaux).
Pour atteindre le niveau de planéité requis par LIGO et Virgo, il a été nécessaire de développer un nouveau porte-échantillon incluant un mouvement planétaire couplé à des masques dédiés situés entre les cibles et les substrats.
Pour chaque matériau( SiO 2, Ti-Ta2O5), la forme du masque est calculée à l ' aide d ' un logiciel de simulation, car les profils des particules pulvérisées sont différents. L ' optimisation de la forme du masque a d ' abord été réalisée sur des monocouches déposées sur de grandes plaques de silice fondue( Ø35 cm, 6 mm d ' épaisseur) avec des mesures spectrophotométriques le long des diamètres.
Figure 7. Profil d ' uniformité moyen sur Ø24 cm d ' un empilement miroir haute réflectivité
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