Application Book: Heating Solutions for All Industries (Italian) | Page 70

PREVENZIONE DELLA CONDENSAZIONE PROCESSI DI DEPOSIZIONE E LITOGRAFIA Un modo semplice ed efficace per prevenire la condensa durante i processi di deposizione e litografia Applicazione I produttori di semiconduttori, display a schermo piatto, LED e apparecchiature fotovoltaiche ricorrono a diversi processi produttivi che contemplano l’erogazione e la rimozione di gas. I processi tipici di trasporto del gas che necessitano di riscaldamento sono la tecnica dell’acquaforte (rimozione del materiale mediante corrosione) o il processo di deposizione (aggiunta di materiale o precursori). Nel corso del processo di deposizione chimica da vapore (CVD), i gas o i precursori da fase vapore si condensano e si accumulano sui lati del sistema di trasporto se non adeguatamente riscaldati, ovvero in genere tra 100 °C e 200 °C (212°F to 392°F ) a seconda di processo e gas impiegati. Un tipo specifico di CVD, denominato deposizione di strati atomici (ALD), impiega precursori con un contenuto solido più elevato che potrebbero richiedere il riscaldamento a temperature fino a 300 °C (572°F ) affinché rimangano sotto forma di vapori ai fini della misurazione e del trasporto del flusso. È necessario un accurato controllo della temperatura in tutte le camere o in tutti i serbatoi coinvolti nel processo allo scopo di garantire adeguate quantità di vapore alle pressioni richieste per il trasporto e la lavorazione. Il mancato mantenimento delle temperature richieste comporterà la condensazione in base alla curva di fase di ciascun precursore. Dopo essere stati utilizzati per la produzione, i precursori passano dalla camera di lavorazione a una pompa a vuoto mediante una linea di vuoto, quindi attraversano un condotto di scarico sino a un sistema di abbattimento in cui vengono bruciati o raccolti in acqua. Se i gas non vengono riscaldati e le temperature appropriate non vengono mantenute durante il trasporto e la lavorazione, i tassi di deposizione e la conseguente qualità del prodotto possono essere influenzati negativamente. La generazione di condensa nel corso di qualsiasi fase dei processi di tecnica dell’acquaforte e di deposizione comporta tempi di inattività e necessità di manutenzione altamente dispendiosi. Soluzione Utilizza le camicie riscaldanti in tessuto di BriskHeat per riscaldare i sistemi di tubazioni delle linee di trasporto, scarico e vuoto. Le guaine di riscaldamento in tessuto BriskHeat forniscono calore preciso e uniforme per tutti i componenti del sistema, incluso condotti, valvole, flange, e unistrut. Riscaldando tutti i componenti, i punti caldi e quelli freddi si riducono, aumentando drasticamente i tempi tra i cicli di manutenzione preventiva. Questi riscaldatori sono tutti collegati come un unico sistema e ciascuno di essi è controllato singolarmente con un regolatore di temperatura PID modulare per ottimizzare l'efficienza e le prestazioni. Le camicie riscaldanti in tessuto sono dotate di un isolamento integrato per un’efficienza energetica ottimale. Inoltre, agevolano l’installazione e la rimozione, sono adatte per ambienti sterili, soddisfano gli standard di sicurezza al tatto SEMI S2 e non contengono silicone, pertanto il rischio di degasaggio indesiderato di tale componente è rimosso. Lynx TM TM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM TM TM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM Lynx TEMPERATURE CONTROL SYSTEM USER INTERFACE 1 MODULE 5 TM TM TM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM USER INTERFACE 1 MODULE 5 TM TM LYNX TM TEMPERATURE TEMPERATURE CONTROL SYSTEM CONTROL SYSTEM LYNX TEMPERATURE CONTROL SYSTEM LYNX TEMPERATURE CONTROL SYSTEM LYNX TM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM TM LYNX TEMPERATURE CONTROL SYSTEM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM LYNX USER INTERFACE 2 MODULE LYNX TEMPERATURE CONTROL SYSTEM 6 TEMPERATURE CONTROL SYSTEM LYNX TM USER INTERFACE 2 MODULE 6 TM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM TM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM USER INTERFACE MODULE 3 USER INTERFACE MODULE Lynx 1 TM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM MODULE TM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM USER INTERFACE 3 Lynx TEMPERATURE CONTROL SYSTEM Lynx TM TEMPERATURE 3 USER INTERFACE USER INTERFACE MODULE 3 Lynx MODULE 4 TM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM Lynx TM TEMPERATURE CONTROL SYSTEM Lynx TM TEMPERATURE USER INTERFACE MODULE 4 È il sistema di controllo della temperatura modulare più avanzato di BriskHeat che fornisce uno specifico termoregolatore PID per ciascun riscaldatore del sistema. Ogni camicia riscaldante è dotata di un sensore RTD o a termocoppia in platino da 100 ohm integrato e altamente accurato, nonché collegato a un modulo locale in relazione alla camicia. Viene fornita un’interfaccia a sfioramento per visualizzare le prestazioni in tempo reale di ciascuna camicia riscaldante (fino a 1.024 zone) e offre funzionalità di registrazione dei dati. Gli utenti potranno monitorare lo stato delle prestazioni di ciascun riscaldatore avvalendosi di un ampio schermo a sfioramento a colori, spie luminose dei riscaldatori altamente visibili, monitoraggio a distanza o avvisi e-mail. 66 Settori Semiconduttore Display a schermo piatto TFT-LCD, IGZO, LTPS, AMOLED, OLED LED (basato su MO) Settore fotovoltaico/solare Produzione di strumenti Tipi di utenti Responsabile di strumenti in impianti di produzione e fonderie Progettista/Ingegnere di strumentazione Numero verde: 800-848-7673 |Telefono: 614-294-3376 | BriskHeat.com | E-mail: [email protected] | Fax: [phone] © BriskHeat Corporation. Tutti i diritti riservati. 20-01